源自中科院高能物理研究所 PAPS 平台,利用周期性多层膜结构的布拉格衍射实现 X 射线高效反射与聚焦,支持铬靶、铜靶、钼靶等多种目标能量,适用于同步辐射及实验室 X 射线仪器。
ASC-反射式多层膜 X 射线聚焦元件采用薄膜沉积技术,在基片上周期性交替沉积 W/B₄C 等不同材料,构造一维晶体结构。每层金属均作为布拉格反射镜面,所有镜面的反射光发生相干,满足布拉格方程时产生最强反射光。
聚焦面型为椭圆柱面,利用柱面在子午和弧矢两个方向分别聚焦,X 射线从椭圆的一个焦点出发,经椭圆面反射,聚焦到另一个焦点。产品可定制平面、椭圆柱面、抛物柱面等多种面型。
多层膜结构在基片上周期性交替沉积不同材料,使膜层厚度(衍射面间距)与入射光波长满足布拉格衍射定律,从而产生高效相干反射。布拉格方程:
聚焦镜面型为椭圆柱面,利用柱面在子午和弧矢两个方向分别聚焦,X 射线从椭圆一个焦点出发,经椭圆面反射聚焦到另一个焦点,实现准直或聚焦光束整形。
| 性能参数 | 铬靶(Cr) | 铜靶(Cu) | 钼靶(Mo) |
|---|---|---|---|
| 目标能量 | 5414.9 eV | 8046.3 eV | 17480 eV |
| 镜长 | 6 cm | 10 cm | |
| 入射角 | 40 mrad | 30 mrad | |
| 膜系材料 | W / B₄C | ||
| 焦距 | 10 cm | 15 cm | |
| 焦斑尺寸 | 45 μm(测试光源光斑 30 μm) | ||
| 增益 | > 35 | ||
| 整体反射率 | 40% | 40% | 70% |
聚焦镜大幅提升照射到样品靶点的光通量(增益 >35),显著缩短 XRF 测量时间,提高微量元素检测灵敏度。
聚焦准直 X 射线束,提高衍射峰强度与信噪比,适用于晶体结构分析、工业 CT 和无损检测。
用于同步辐射光束线的 X 射线单色化、聚焦与准直,性能指标达到国际先进水平,已应用于多条束线。
配套实验室微焦 X 射线管,实现小型化 X 射线显微与成像系统,适用于材料科学和生物医学研究。
高通量聚焦光束适用于工业品镀层分析、合金成分快速实时检测,提升仪器便携性与集成度。
支持平面、椭圆柱面、抛物柱面等多种面型定制,可针对不同发散角光源设计接收和聚焦方案。